WSD220&WSD320——外觀缺陷檢測設備

l 應用于8寸及12寸圖形或無圖形晶圓

l 適用于大規模集成電路前端、化合物半導體生產線

l 配置自主開發的缺陷檢測增強算法

l 高穩定性和高可靠性的設計

l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復查功能

l 輸出產能高，具有較高的性價比

l 支持工廠自動數據傳遞